光刻机总体来说，一共只有三个部分。

　　首先是光源及照明系统，负责发射均匀可调的紫外线，照射在光掩膜上。

　　其次就是物镜及成像系统，负责将光掩膜上的电路图，尽量无损的投射在晶圆硅片上。

　　最后，则是工件台移动及测控系统，负责对准调平，精密定位！

　　也就是陈心如带着白杨来到研究室，所看到的定位台系统。

　　“白所长，镜头方面，目前还在研制过程中，难度有些大。”陈心如将资料递给白杨，抿...